真空烧结、真空热压、硅裂解、离子注入和PTFE喷涂等工艺都需要真空炉的支持。高温真空炉是制造光电器件和太阳能电池的重要工具。在光电行业中，高温真空炉被用于生产太阳能电池、LED灯等器件。

在半导体行业中，高温真空炉主要用于制造新型材料、氧化物、硅外延化合物和透明导电氧化物薄膜等金属材料。真空炉可淬火硅晶体、高思特晶体、氮化硅晶体等半导体材料。